超音波モータ 標準型 モデル USR30-Bシリーズ
ビルトインタイプの小型超音波モータ
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR30-Bシリーズはビルトインタイプの小型超音波モータです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は300[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-B3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-B4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
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ビルトインタイプの小型超音波モータ
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR30-Bシリーズはビルトインタイプの小型超音波モータです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は300[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-B3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-B4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR60-Sシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている標準型モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR60-S3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR60-S4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 超音波モータ 標準型ベーシックモデル USR30-Sシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている標準型モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は300[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-S3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-S4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能!
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR30-SNシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている非磁性型モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は250[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-S3N、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-S4Nをご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能!
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR60-SNシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている非磁性型モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR60-S3N、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR60-S4Nをご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
重たいモノも複数の超音波モータでトルクを増やし、高速移動と高精度位置決めを両立します。
Nanomotionの超音波モータ「SE」「HR」は、真空中でも使える高速移動(最速500mm/sec)と高精度な1nm位置決めが可能な製品です。 さらに特徴的なのは駆動力。HR8モータはひとつで最大32Nのトルクがあります。 たとえばHR8モータを4つ使ってトルクを128Nすることができ、ステージをいくつも重ねたり、重たい積載物を移動させることも可能です。 ※ペイロード荷重は、移動速度や精度、ステージの大きさなど条件により大きく変わります。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。 ■電子ビーム・イオンビーム(FIB)用ステージ 検査用4 軸(X-Y-Z-θ)で、真空仕様、非磁性対応。 1nm の高分解能で6nm 以下の位置安定性を実現。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 10nmの精度を実現し、安定した低速度実現(200nm/sec)しています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。